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上海微电子新型光刻机专利曝光
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  • 楼主jc68 圈主
  • 2021-10-31 09:34
上海微电子新型光刻机专利曝光

近日,上海微电子举行新产品发布会,宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。目前,上微已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议,首台将于年内交付。

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